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摘要
介绍了基于双频电源PECVD沉积设备的电源系统设计,包括系统组成、射频电源的选取和调谐控制等。并对加载不同频率电源的PECVD反应室进行了仿真,一方面基于ANSYS软件的电磁场模块,对低频电磁场进行谐态电路有限元分析,得到反应室内电磁场分布;另一方面基于Ansoft HFSS对高频电磁场进行本征模态分析,得到各阶模态和频率。通过实际应用验证了该方案可靠有效。
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介绍了基于双频电源PECVD沉积设备的电源系统设计,包括系统组成、射频电源的选取和调谐控制等。并对加载不同频率电源的PECVD反应室进行了仿真,一方面基于ANSYS软件的电磁场模块,对低频电磁场进行谐态电路有限元分析,得到反应室内电磁场分布;另一方面基于Ansoft HFSS对高频电磁场进行本征模态分析,得到各阶模态和频率。通过实际应用验证了该方案可靠有效。
