溶胶-凝胶法制备耐磨宽带SiO_2/TiO_2增透膜

作者：贾巧英乐月琴唐永兴姜中宏

来源：光学学报, 2004, (01): 65-69.

• 薄膜物理学
• 溶胶-凝胶
• 宽带增透膜
• 表面均匀
• 耐擦除 film physics
• sol-gel
• broadband antireflective coatings
• even surface
• scratch-resistant

以钛酸正丁酯 [Ti(OBu) 4 ]、正硅酸乙酯 (TEOS)为原料 ,采用溶胶 凝胶 (sol gel)提拉方法在K9光学玻璃基片上镀制得高透过的λ/ 4～λ/ 2型宽带增透膜。该增透膜的表面均匀性良好 ,均方根粗糙度 (RMS)为 1.2 0 1,平均粗糙度 (RA)为 0 .934,具有一定的耐擦除性。经 2 0 0℃热处理 ,膜层中的OH吸收峰已基本消失 ,在 4 0 0～ 70 0nm光谱范围的透过率比基片的平均透过率提高 6 .6 %。为实现大面积涂覆“神光”装置主放大器的防爆隔板玻璃 ,大幅度提高主放大器的抽运效率奠定基础。

• 单位
  中国科学院; 中国科学院上海光学精密机械研究所