MOCVD系统检漏技术

作者：宋健; 张清旭

来源：设备管理与维修, 2019, (17): 110-111.

DOI：10.16621/j.cnki.issn1001-0599.2019.09.53

• MOCVD系统
• 漏率检测
• 氦质谱检漏仪法

介绍MOCVD的基本原理和几种常见的检漏方法,探讨MOCVD系统各部分的作用及其检漏技术,使工艺人员能够快速有效的确定设备各部分漏率,辅助分析产品的缺陷,最后给出降低MOCVD系统漏率的有效措施。