不同沉积温度下CrCN涂层的力学性能

作者：刘乃瑜; 曹磊; 郑少梅^*

来源：金属热处理, 2022, 47(04): 240-244.

DOI：10.13251/j.issn.0254-6051.2022.04.041

• 磁控溅射
• CrCN涂层
• 沉积温度
• 力学性能

使用磁控溅射技术在304不锈钢表面制备CrCN涂层，研究了沉积温度(200、250、300、350和400℃)对涂层结构及力学性能的影响。研究表明，沉积温度为250℃时，涂层的晶粒尺寸及表面粗糙度最大，但随着沉积温度的进一步升高，涂层的晶粒逐渐细化，表面粗糙度明显下降；同时涂层硬度伴随沉积温度的升高出现先增大后减少的趋势，沉积温度为350℃时，薄膜具有最高的硬度(22.85 GPa),抗弹性形变和抗塑性形变能力最好，体现出优异的力学性能。

• 单位
  青岛理工大学