激光干涉仪原理与应用研究

作者：贾平平

来源：山东工业技术, 2018, (20): 247.

DOI：10.16640/j.cnki.37-1222/t.2018.20.006

• 激光干涉仪
• 线性测量
• 波长
• 补偿
• 定位精度

激光干涉仪已成为精密机床线性测量与补偿的基准,本文以雷尼绍ML10激光干涉仪线性测量为例,从激光干涉仪测量原理分析入手,得出测量距离与波长和脉冲数之间的关系。叙述了环境因素对测量因素的影响,针对具体线性测量指出其定位精度和重复定位精度计算公式。并指出了在测量过程中应注意的问题。

• 单位
  渭南师范学院; 数理学院