海洋温度电导率微纳传感器批量制备及测试

作者：吴超楠; 郜晚蕾; 邹杰; 金庆辉; 简家文

来源：传感器与微系统, 2020, 39(04): 63-69.

DOI：10.13873/J.1000-9787(2020)04-0063-03

• 温度电导率传感器
• 海洋环境参数
• 微纳批量制备
• 高精度测量

基于微机电系统(MEMS)技术,批量制备了一批高精度、小尺寸的电导率和温度集成微纳传感器,经测试,该传感器芯片尺寸仅为12 mm×12 mm,温度灵敏度为0. 063℃/Ω,三次重复标定实验的变异系数CV为0. 6%,显示出良好的重复性。电导率传感器(R2≥0. 999 99)和温度传感器(R2≥0. 999)均具有良好的线性度。随机抽取一组传感器进行批量评估,电导池常数K的标准偏差为±0. 019 cm-1,显示出良好的一致性。该温度电导率微纳传感器尺寸小、成本低、批量制备一致性高,适用于大规模的海洋环境参数测量需求。

• 单位
  宁波大学