大型非球面主镜细磨中的一种在线检测技术

作者：万勇建; 范斌; 袁家虎; 杨力; 郑耀; 曾志革

来源：光电工程, 2005, (01): 1-4.

• 在线检测
• 细磨
• 非球面镜
• 数控机床 On-line measurement
• Lapping
• Aspheric mirrors
• Digital-controlled machine

提出了一种在大型非球面镜细磨加工阶段使用的低成本在线检测技术。该技术将高精度测长装置集成在普通数控加工机床上,构成在线测量系统。通过测量工件面形上的各点空间坐标,并将测量数据经过坐标变换、误差补偿等处理,实现在线面形测量。与 Leize 三坐标测量机对比测量同一个面形,二者的测量结果误差 P-V为 4.0ìm,RMS 为 0.8ìm。在普通数控细磨机床上实现了在线面形测量且测量精度优于 5ìm。利用此系统,实现了细磨加工过程的镜面面形在线检测。

• 单位
  中国科学院光电技术研究所; 中国科学院研究生院