真空法制备铜锌锡硫硒薄膜太阳电池的研究进展

作者：胡兴欢; 余纳; 王书荣

来源：半导体技术, 2022, 47(12): 933-945.

DOI：10.13290/j.cnki.bdtjs.2022.12.001

• 铜锌锡硫硒(CZTSSe)
• 真空法
• 薄膜
• 太阳电池
• 光电转换效率

真空法具有沉积速率快、重复性高以及成膜质量高等优势，有望成为大规模生产铜锌锡硫硒(Cu2ZnSn(S,Se)4,CZTSSe)薄膜太阳电池的制备方法。主要介绍了热蒸发法、磁控溅射法和脉冲激光沉积法等三种沉积CZTSSe薄膜的方法，阐述了采用真空法制备CZTSSe薄膜太阳电池的研究进展，同时对各种方法的优化途径(如退火条件优化、掺杂、背接触改善等)进行对比分析。最后，阐明了真空法的潜在优势以及存在的问题，并对未来发展进行展望。

• 单位
  云南师范大学