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摘要
真空工作腔内的残余氢气会对砷化镓功率放大器造成严重危害，在器件内部预置吸氢材料是解决这一问题的有效技术途径。由于砷化镓器件内部有低熔点的焊料，要求吸氢材料在使用时应避免高温激活处理程序。报道一种满足该要求的无需激活吸氢材料，该材料以吸氢量较大的钛箔作为基体材料，经酸洗处理后，采用磁控溅射工艺在其表面沉积一层钯膜。通过扫描电子显微镜(SEM)和X射线衍射(XRD)表征了Pd膜的表面及截面的微观形貌和晶体结构，通过X射线光电子能谱(XPS)分析了Pd膜的表面元素价态，利用定容法测试了材料的吸氢性能。结果表明，Pd/Ti样品的吸氢主体是Ti箔，合适的酸洗工艺可以有效去除Ti箔的氧化层，有利于提高材料的吸氢性能；Pd/Ti样品经真空退火处理更进一步提高吸氢性能。表面元素价态分析表明，经磁控溅射沉积的Pd膜为金属态。在Pd膜的保护作用下，样品经真空退火并暴露大气24 h后，在测试温度为27℃、测试氢压为1000 Pa条件下，仍具有较高的吸氢性能，12 h的累积吸氢量可达191.98 Pa·L·cm-2。
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