MgO-SiO2-BaO-CaO-ZrO2/Al2O3基LTCC材料性能研究

作者：刘剑^*; 聂敏; 洪国志

来源：电子元件与材料, 2020, 39(01): 90-94.

DOI：10.14106/j.cnki.1001-2028.2020.01.017

• LTCC滤波器
• MgO-SiO2-BaO-CaO-ZrO2玻璃
• Al2O3
• 介电性能
• 抗弯强度

采用MgO-SiO2-BaO-CaO-ZrO2玻璃与Al2O3复合烧结,制备了MgO-SiO2-BaO-CaO-ZrO2/Al2O3基LTCC复合材料。借助DTA、XRD、SEM和电性能测试手段,系统研究了玻璃/Al2O3比例和烧结温度对复合材料结构与性能的影响。结果表明,MgO-SiO2-BaO-CaO-ZrO2玻璃是一种微晶玻璃,析出CaMg(SiO3)2相,但复合材料在析晶过程中与Al2O3发生反应,主要物相是Al2O3、BaAl2SiO8以及玻璃相。提高玻璃粉含量和烧结温度均能够提升致密性,当玻璃含量为质量分数50%～55%时,该复合材料在880～900℃即可烧结致密,具有εr=8. 1～8. 4、tanδ=0. 0010～0. 0013@13 GHz,σ> 300 M Pa等优异的综合性能,满足LTCC滤波器集成化、小型化和高可靠性的制作要求。

• 单位
  深圳顺络电子股份有限公司