微电磁光开关的结构设计与性质模拟

作者：吴雅苹; 陈晓航; 吴志明

来源：物理实验, 2019, 39(09): 10-14.

DOI：10.19655/j.cnki.1005-4642.2019.09.002

• 微电磁光开关
• 磁芯线圈
• 悬臂梁
• 有限元模拟

基于微电磁光开关的工作原理,设计了MEMS电磁反射型光开关.采用ANSYS 9.0有限元软件分析结合Mathematica数值计算研究了微电磁光开关所需的电磁力、磁芯线圈的磁场分布、悬臂梁受电磁力的形变状态,从而获得磁芯线圈的匝数、悬臂梁位置、悬臂梁与平面磁芯线圈接触区域等结构参量.

• 单位
  厦门大学