一种硬质合金表面沉积ta-C薄膜的方法

作者：李多生; 温鑫; 叶寅; 徐锋; 郎文昌; 刘俊红; 于爽爽; 余欣秀

来源：2023-12-29, 中国, CN202311850533.4.

本发明公开一种硬质合金表面沉积ta-C薄膜的方法,包括以下步骤：步骤1：试样表面的清洗和预处理,包括将试样进行打磨、抛光、清洗处理；步骤2：试样表面沉积ta-C薄膜的实验及检测分析,包括在不同工艺参数下直接在试样表面沉积ta-C薄膜和先在试样表面沉积Ti/TiC复合过渡层然后在沉积ta-C薄膜等相关步骤。本发明的硬质合金表面沉积ta-C薄膜的方法,制备效果良好,靶材原子离化率高,成膜速度快,膜基结合力好,薄膜中sp～3杂化建的含量超过60%,且具有更高的硬度和更加优异的力学性能。

• 单位
  南昌航空大学