Al含量对TiN/Ti_(1-x)Al_xN复合多层涂层组织及力学性能的影响

作者：王成蹊; 彭继华; 梁献文; 杜日昇

来源：广东省真空学会(Guangdong Vacuum Society), 中国,广东省,肇庆市.

• 多弧离子镀
• TiN/Ti_(1-x)Al_xN涂层
• Al含量
• 力学性能

采用多弧离子镀技术,利用纯Ti靶及TiAl合金靶在SKH51高速钢基本上沉积三种不同Al含量的TiN/Ti_(1-x)Al_x复合多层涂层,利用材料表面性能测试仪、显微硬度计、扫描电镜、X射线衍射仪等研究了A1含量及多层结构对涂层形貌、相结构、显微硬度、膜基结合力的影响。结果表明:TiN/Ti_(1-x)Al_xN复合多层涂层均为柱状晶结构,断口形貌表现为短纤维状撕裂,随着Al含量的升高,涂层中大颗粒数量增加,显微硬度升高,衍射峰右移,晶格常数减小;与相应成分的单层Ti_(1-x)Al_xN涂层相比,硬度均有少许的降低,但结合力有明显的提高。

• 单位
  广州今泰科技股份有限公司; 华南理工大学