实时光学薄膜膜厚监控系统研究

作者：刘雄英; 黄光周; 于继荣

来源：真空科学与技术学报, 2005, (04): 306-308+311.

DOI：10.13922/j.cnki.cjovst.2005.04.018

• 光学薄膜
• 膜厚监控
• 极值点判断 Optical film
• Monitor of film thickness
• Judgment of maximum value

在光电极值法基础上采用一定的信号采集方法、数据处理和极值点判断算法,通过硬件电路和高级程序语言设计了膜厚监控系统。实验表明,该系统能够对光学薄膜镀制过程进行实时在线跟踪,以及对膜层厚度的准确控制。

• 单位
  华南理工大学