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摘要
提出了一种基于声子晶体的新型体声波谐振器结构，利用声子晶体在其带隙范围内对弹性波具有高反射率、低透射率的特点，将声子晶体作为体声波谐振器底部的声反射层。首先计算出了4种不同结构声子晶体的带隙特性，并使用有限元软件COMSOL Multiphysics对基于声子晶体的体声波谐振器结构进行建模仿真，得出了主要结论。当体声波谐振器工作频率在声子晶体带隙范围内时，直接以声子晶体作为体声波谐振器的衬底，仿真得到的阻抗曲线较为平滑，且Q值为858.09，有效机电耦合系数为6.32%。
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单位电子工程学院; 杭州电子科技大学
