摘要

提出了一种基于声子晶体的新型体声波谐振器结构,利用声子晶体在其带隙范围内对弹性波具有高反射率、低透射率的特点,将声子晶体作为体声波谐振器底部的声反射层。首先计算出了4种不同结构声子晶体的带隙特性,并使用有限元软件COMSOL Multiphysics对基于声子晶体的体声波谐振器结构进行建模仿真,得出了主要结论。当体声波谐振器工作频率在声子晶体带隙范围内时,直接以声子晶体作为体声波谐振器的衬底,仿真得到的阻抗曲线较为平滑,且Q值为858.09,有效机电耦合系数为6.32%。