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摘要
为了研究集成电路测试中微探针的电学特性，采用自动测量和分析阻抗特性的pogo微探针，组成了一个具有运动控制和导纳测量仪的晶片探针导纳测试系统。基于伏安法研究了不同加载频率下探针的导纳特性。结果表明，当加载频率<100 kHz时，探针是电阻性的；当频率>100 kHz时，探针是电感性的。此外，当频率在200～400 kHz时，探针的导纳最小。同时，当频率在1～500 kHz时，针尖的电导率小于爪针，而针尖的电纳和电阻大于爪针，这主要是由于探针与焊料之间接触的变化。
- 单位
为了研究集成电路测试中微探针的电学特性，采用自动测量和分析阻抗特性的pogo微探针，组成了一个具有运动控制和导纳测量仪的晶片探针导纳测试系统。基于伏安法研究了不同加载频率下探针的导纳特性。结果表明，当加载频率<100 kHz时，探针是电阻性的；当频率>100 kHz时，探针是电感性的。此外，当频率在200～400 kHz时，探针的导纳最小。同时，当频率在1～500 kHz时，针尖的电导率小于爪针，而针尖的电纳和电阻大于爪针，这主要是由于探针与焊料之间接触的变化。
