浅谈扫描电子显微镜的结构及维护

作者：陈木子; 高伟建; 张勇; 冯善娥

来源：分析仪器, 2013, (04): 91-93.

• 钨灯丝扫描电镜
• 场发射扫描电镜
• 结构
• 维护 tungsten filament SEM
• field emission SEM
• structure
• maintenance

主要介绍了钨灯丝扫描电子显微镜和场致发射扫描电镜基本结构中的异同及性能的差异,并以HI-TACHI S-4700为例介绍了对扫描电子显微镜的维护工作。

• 单位
  苏州大学