行波型超声波电机的运行状态取决于施加电压的频率、幅值及相位差。针对行波型超声波电机转速及位置控制问题,结合模糊逻辑控制系统(FLC)、带PI的模糊逻辑控制系统(FLC-PI)和带PID的模糊逻辑控制系统(FLC-PID),采用变频法和相位差法对电机进行转速和位置控制。根据各控制方案的响应参数来看,带PID的模糊逻辑控制器(FLC-PID)取得了最好的控制效果,且适用于各种工况,具有可靠、有效、简单的优点。