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摘要
本发明本发明属于微电子机械技术领域,具体涉及基于纳米压电梁的谐振式加速度传感器及其制备方法。包括基底、检测结构层和盖板；检测结构层以方形双抛硅片为基础制成,包括方形外框和位于外框中心的方形敏感质量块,敏感质量块x轴方向的两侧分别通过支撑梁和对应的外框内侧壁连接,敏感质量块的y轴方向的两侧分别通过双端音叉谐振器和对应的外框内侧壁接触,每个双端音叉谐振器包括一对氧化锌谐振梁；检测结构层的顶面和盖板的底面、检测结构层的底面和基底的顶面均通过键槽连接,使得基底、检测结构层和盖板形成内部封闭的加速度传感器。本发明加速度传感器的结构灵敏度高,实现抗过载能力强、谐振频率高、灵敏度高的指标。
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