微机电火工品薄膜结构换能元

作者：任炜; 赵玉龙; 褚恩义; 张彬; 李慧

来源：光学精密工程, 2018, 26(09): 2320-2326.

• MEMS
• 薄膜结构
• 换能元
• 薄膜厚度

为了满足MEMS火工品的小型化、集成化和低能发火等要求,本文基于MEMS技术,设计了一种平面"蛇"形结构的薄膜换能元,采用磁控溅射等MEMS薄膜制作技术,完成了不同薄膜桥区电阻和基底材料薄膜换能元样品的制备,采用扫描电镜(SEM)、原子力显微镜(AFM),低电阻测试仪、红外热像仪等设备,完成了不同换能元样品结构(薄膜桥区线宽、长度及厚度等)及性能(电阻、电热响应等)参数的测试与表征。通过分析研究,获得了薄膜桥区电阻材料、基底材料、薄膜厚度以及桥区结构形状对换能元性能的影响规律,优选确定以金属Pt和7740玻璃作为换能元电阻及基底材料,发火性能达5V/33μF,满足MEMS火工品的低能化要求。

• 单位
  西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室; 陕西应用物理化学研究所