一种大行程二维压电定位台

作者：潘巧生; 汪权; 陈立蔚; 李英豪; 黄梓良; 李瑞君; 张连生; 黄强先

来源：2021-08-18, 中国, ZL202110948467.9.

本发明公开了一种大行程和大有效行程面积比的二维压电定位台,属于压电驱动技术领域。包括底板、压电定位台、载物平台和预紧机构；预紧机构包括第一预紧机构和第二预紧机构,分别设于与两个位移放大机构的压电定位台对应侧边的底板上；压电定位台包括载物平台框架、第一位移放大机构、第一解耦机构、第二位移放大机构和第二解耦机构；第一位移放大机构和第一解耦机构为一组实现所述压电定位台在Y方向的位移输出,第二位移放大机构和第二解耦机构为一组实现压电定位台在X方向的位移输出。本发明通过两个位移放大机构的结构设计,使整体放大比达到14.4；通过调整两个解耦机构的机械机构参数,使压电定位台在X方向和Y方向的耦合误差降低至0.35%。

• 单位
  合肥工业大学