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摘要
采用等离子体基氧离子注入技术对Ti6Al4V合金进行表面处理。注入电压选取-50 kV,注入剂量为4.5×1017 ions/cm2。氧离子注入后对注入样品进行不同温度的真空退火处理。真空退火后,样品表面形貌发生显著变化。随着退火温度增加,先后出现点状、条状缺陷和浅白色块状区。500℃真空退火后样品表面粗糙度变化不大,600℃真空退火后样品表面粗糙度急剧增加。真空退火导致注氧层中氧流失,并且不能在注氧层中析出结晶相。
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单位中国科学院; 中国科学院宁波材料技术与工程研究所; 哈尔滨工业大学
