平面型24元InGaAs短波红外探测器

作者：邵秀梅; 李淘; 邓洪海; 程吉凤; 陈郁; 唐恒敬; 李雪

来源：红外技术, 2011, (09): 501-504.

• InGaAs
• 平面型探测器
• 保护环
• 短波红外 InGaAs
• planar-type detector
• Guard-ring structure
• short wave infrared

设计了带有保护环结构的平面型24×1 InGaAs线列短波红外探测器,利用n-i-n+型InP/In0.53Ga0.47As/InP外延材料闭管扩散制备了平面型探测器。LBIC测试显示光敏元没有明显扩大,保护环起到了有效的隔离效果;I-V测试表明器件的优值因子R0A约4.2×106.cm2,在-0.1 V反向偏压下的暗电流密度约22nA/cm2,拟合得到的理想因子接近1,说明正向电流成分主要为扩散电流;在室温20℃,器件的响应光谱在0.9～1.68μm波段范围,其平均峰值电流响应率为1.24 A/W,平均峰值探测率为3.0×1012cm.Hz1/2/W,量子效率接近95%,响应的不均匀性为2....

• 单位
  传感技术国家重点实验室; 中国科学院上海技术物理研究所