以玻璃基板平面度误差检测为应用场景，研发了一种差动光谱共焦式平面度误差测量系统。依据仪器设计原则和工程任务，完成了测量系统误差分析和精度设计，确定玻璃基板平面度误差测量系统测量原理和总体方案，并完成测量系统设计，包括机械结构、控制系统和系统软件等。在标准环境条件(温度20℃,相对湿度65%)下，分别以二级平板和玻璃基板为被测对象，开展系统结构和精度验证实验；平面度误差分别为10.41μm和4.20μm。测试结果表明，该系统能够准确地对玻璃基板平面度误差进行检测，且测量精度得到提高。
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