太阳能级多晶硅装置工艺路线比较

作者：张晓辉^*; 周齐领

来源：化工设计, 2021, 31(04): 3-1.

DOI：10.15910/j.cnki.1007-6247.2021.04.001

• 多晶硅
• 西门子法
• 硅烷法

改良西门子法和硅烷流化床法是太阳能级多晶硅装置采用的两种工艺技术路线。本文对两者进行了全面的对比,主要包括工艺流程、消耗定额、技术优缺点等方面,并对硅烷法的主要技术难点及技术前景进行了论述,指出了多晶硅生产技术的发展方向。

• 单位
  中国成达工程有限公司