照明系统中的消相干光束整形设计方法

作者：徐建旭

来源：集成电路应用, 2021, 38(03): 34-36.

DOI：10.19339/j.issn.1674-2583.2021.03.013

• 控制技术
• 激光
• 高斯光束
• 均匀光束
• 相干
• 消相干

分析表明,激光器发出的激光束的空间强度呈高斯分布,即高斯光束,在以激光器为光源的照明系统中,需要将高斯光束整形为均匀光束,光束均匀性直接影响激光加工的均匀性及重复性。在对激光光束进行整形的过程中,面临一个关键的问题就是激光由于干涉的影响,整形后光束均匀性不能达到预期的效果。针对此问题,介绍消除干涉的光束整形方案,以及相应的实现方法及效果。