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摘要
在航空航天以及核电领域中,准确测量高温部件的应变、疲劳等结构参数十分重要,对满足高温应用环境的高温应变计需求非常迫切。在镍基合金基底上研制了Pd Cr薄膜电阻应变计,依次在基片上沉积Ni Cr Al Y作为过渡层来增强附着性,沉积YSZ/Al2O3作为复合绝缘层满足绝缘性需求,溅射Pd Cr合金作为应变敏感层,并采用金属掩模对Pd Cr敏感层进行图形化,最后沉积Al2O3薄膜层作为高温保护层,并对Pd Cr薄膜应变计的应变敏感系数(GF)以及高温环境下的表观应变、漂移应变等性能进行了表征。结果表明,不同温度下Pd Cr薄膜应变计的电阻值随应变呈良好的线性关系;在常温下,其应变敏感系数为1.40;在800℃时,应变计的表观应变系数127με/℃。应变计的电阻值随时间线性减小,导致的漂移应变约为1 800με/hr,应变敏感系数为1.41。同时,对制备的Pd Cr薄膜应变计进行了可靠性评估和寿命评估。结果表明,其重复性测量误差约为5.71%,工作寿命超过10 h。
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单位电子科技大学; 电子薄膜与集成器件国家重点实验室
