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摘要
为研究兆声辅助化学机械抛光中振动对抛光液流体的影响。采用理论分析方法,研究兆声振动在抛光液中产生的声辐射压力,利用有限元分析,建立抛光过程中抛光垫单孔隙、抛光液层、声源等简化模型,研究兆声振动作用到抛光液中后抛光液的运动变化。结果表明兆声振动能够对抛光液产生声辐射压力,其值大小与声压、流体密度、声速有关。有限元仿真分析表明,兆声振动能够使抛光垫孔隙内抛光液的流速加快,促进孔隙内外的抛光液进行交换。使得闲置在抛光垫孔隙内的部分抛光液流出,而部分携带残屑的抛光液则会流入到孔隙内。
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单位辽宁工业大学; 自动化学院
