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摘要
压电微机电系统(MEMS)为各种高性能滤波器、振荡器和传感器等提供了一个多功能平台。氮化铝(AlN)MEMS轮廓模谐振器(CMR)具有工作频率跨度大，品质因数高，体积小及能在单个芯片上集成多频器件且与集成电路(IC)技术兼容等优点，具有较好的应用前景。该文对AlN MEMS CMR的原理与典型结构、制备工艺及应用进行了综合性阐述，并分析了CMR技术未来的发展方向。
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单位中国电子科技集团公司第二十六研究所; 苏州中材非金属矿工业设计研究院有限公司; 重庆工业职业技术学院
