溶胶-凝胶SiO_2减反膜疏水性研究（英文）

作者：李海元; 沈斌; 张旭; 唐永兴

来源：稀有金属材料与工程, 2012, S3: 286-288.

• 溶胶-凝胶
• 薄膜
• 疏水性
• 甲基三乙氧基硅烷 sol-gel
• coating
• hydrophobicity
• MTES

采用甲基三乙氧基硅烷(MTES)为部分前驱体制备了具有高疏水性溶胶-凝胶SiO_2减反膜。SiO_2溶胶以正硅酸乙酯(TEOS)和甲基三乙氧基硅烷为前驱体,在氨水的催化条件下水解制备。当甲基三乙氧基硅烷在前驱体中的质量分数超过20%时,膜层具有高疏水稳定性。改性膜层的折射率随甲基三乙氧基硅烷含量增高而下降。制备的含30%MTES的疏水减反膜具有较小的表面粗糙度(RMS:3.575nm)和较高的激光损伤阈值(15.64.J/cm~2,355 nm/12ns)。

• 单位
  中国科学院; 中国科学院上海光学精密机械研究所