YBa₂Cu₃O_7-δ薄膜微结构的同步辐射三维倒空间扫描研究

作者：易栖如; 熊沛雨; 王焕华; 李港; 王云开; 董恩阳; 陈雨; 沈治邦; 吴云; 袁洁; 金魁; 高琛

来源：Acta Physica Sinica, 2023, 72(04): 199-206.

DOI：10.7498/aps.72.20221776

• 三维倒空间扫描
• YBCO薄膜
• 微结构

高温超导薄膜因其微波表面电阻低,可用于尖端高温超导微波器件的制作.然而由于高温超导材料特殊的二维超导机制和极短的超导相干长度,高温超导材料的微波表面电阻对微结构特别敏感.为了探究高温超导材料微结构和微波电阻的联系,采用脉冲激光沉积（PLD）技术在（001）取向的MgO单晶衬底上生长了不同厚度的YBa2Cu3O7-δ（YBCO）薄膜.电学测量发现不同厚度的样品超导转变温度、常温电阻差别不大,但超导态的微波表面电阻差异很大.同步辐射三维倒空间扫描（3D-RSM）技术对YBCO薄膜微结构的表征表明:CuO2面平行于表面晶粒（c晶）的多寡、晶粒取向的一致性是造成超导态微波表面电阻差异的主要原因.

• 单位
  中国科学院高能物理研究所; 中国科学院物理研究所; 中国科学院大学