碳纳米管互连技术的研究进展

作者：杜晨辉; 安立宝^*; 赵树忠

来源：现代化工, 2018, 38(12): 19-25.

DOI：10.16606/j.cnki.issn0253-4320.2018.12.005

• 碳纳米管
• 性能
• 互连线
• 制备

从碳纳米管作为互连材料的优势、互连的形式、互连的制备方法、碳纳米管互连接触电阻的改善以及碳纳米管互连技术面临的挑战5方面进行了概述,重点介绍了制备碳纳米管互连线的2种方式,为碳纳米管互连技术的应用提供帮助。

• 单位
  华北理工大学