氧化铈抛光改善光束采样光栅衍射效率均匀性

作者：饶欢乐; 刘正坤; 刘颖; 蒋晓龙; 邱克强; 徐向东; 洪义麟; 付绍军

来源：强激光与粒子束, 2013, (07): 1609-1610.

• 光束采样光栅
• 衍射效率
• 均匀性
• 化学机械抛光 beam sampling grating
• diffraction efficiency
• uniformity
• chemical mechanical polishing

作为强激光系统的终端组件之一,光束采样光栅是制作在熔石英基底上的浅槽光栅。利用熔石英的传统化学机械抛光技术,修正熔石英光束采样光栅的槽型轮廓,降低局部偏高的衍射效率,以提高光束采样光栅的整体效率均匀性。利用此方法已成功将430mm×430mm的光束采样光栅的衍射效率均方根值(RMS)由30%附近降低到5%以下。实验结果显示,利用传统化学机械抛光技术可以有效提高光束采样光栅衍射效率均匀性,这是一种可行的技术方案。

• 单位
  中国科学技术大学