ZnO薄膜的制备及应用研究进展

作者：胡国华; 陈建平

来源：江苏陶瓷, 2008, 41(06): 7-10.

DOI：10.16860/j.cnki.32-1251/tq.2008.06.003

• ZnO薄膜
• 制备
• 应用 ZnO film
• preparation
• application

ZnO作为一种新型的宽禁带半导体材料,具有很好的化学稳定性和热稳定性,抗辐射损伤能力强,在光电器件、压电器件、表面声波器件等诸多领域有着很好的应用潜力。本文主要介绍制备ZnO薄膜的技术和方法,并简要的介绍了ZnO薄膜的应用进展。

• 单位
  中国地质大学（武汉）