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摘要
采用微波等离子体化学气相沉积法,以CH4-CO2为气源,通过改变CO2的流量,探讨了此气源下金刚石膜的生长情况。利用扫描电子显微镜对制备的金刚石膜表面形貌和断面进行了表征,采用Raman和X射线衍射仪对金刚石膜的质量和晶体结构进行分析。结果表明,CH4流量为50 m L/min时,CO2流量在2040 m L/min范围内可以沉积出完整的金刚石膜,CO2的流量对金刚石膜的表面形貌影响较大,在CO2/CH4=30∶50条件下,沉积速率可达到3.4μm/h,同时可以制备出高质量的金刚石膜。
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