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摘要
对集成无源工艺可视化和动态化在微电子专业工程教学中的应用进行探究,分析了集成无源工艺的发展现状。微电子专业工程教育的平台及师资力量存在差异性,基础课程内容比较抽象,学生理解困难,传统教学呆板化,人文素质教育缺失,传统教学模式对设备操作的依赖性不利于成本控制。对此,将集成无源工艺应用其中,对曝光、显影、镀膜、扩散、刻蚀等工艺进行可视化、动态化讲解。可利用软件将集成无源加工工艺的流程进行动画展示,逐步讲解流程,降低工艺流程的抽象化程度,同时也能降低设备成本。可对集成无源工艺中的关键加工工艺进行微纳米电镜图片剖析,将微观世界的加工工艺进行宏观展示。可通过HFSS、ADS、CST等多种3D建模仿真软件进行辅助学习和理解,软件仿真结果的优异性能够反映出学生对加工流程的理解程度,以期让学生看得见加工工艺流程,学得懂基本微纳米工艺,用得会3D建模仿真软件。
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