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摘要
面向高速精密定位领域设计了以音圈电机为宏动部分，超磁致伸缩驱动器为微动部分的同轴式宏微复合驱动器。为实现宏动部分的驱动控制，基于电磁驱动原理建立了宏动部分的动力学模型，设计了自抗扰控制(active disturbance rejection control, ADRC)系统，其包括4阶扩张状态观测器及非线性状态误差反馈控制率，采用5阶S型位移曲线作为路径规划，并搭建了实验测试平台进行验证。实验结果显示：定位过程中，ADRC算法控制下其最大跟随误差约为0.155 mm，最终定位误差约为9μm，在负载工况下，最大跟随误差约为0.277 mm，最终定位误差约为11μm。研究结果表明：ADRC算法较于PID算法跟随误差更低，超调更小，且最终定位误差处于宏微复合驱动器微动的定位范围内，满足整体设计要求。
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