微型石英音叉谐振陀螺抗冲击的建模与仿真

作者：白冰; 赵玉龙

来源：导航与控制, 2019, 18(04): 25-32.

• 石英音叉陀螺
• 冲击响应谱
• 半正弦冲击
• 建模
• 仿真

随着微机电系统技术的飞速发展,微型石英音叉谐振陀螺在各个领域中的应用越来越广泛,工作环境也越来越复杂,有些工作环境非常恶劣,需要经受冲击环境的考验。针对微型石英音叉谐振陀螺结构中"V"字梁在抗冲击方面的设计问题,基于国家标准中的归一化冲击响应谱,利用有限元分析仿真软件COMSOL Multiphsics,分析了不同"V"字梁厚度参数在受到6个方向的1500g、2ms的半正弦冲击时产生的应力和形变。仿真结果表明,当"V"字梁厚度为100μm时,其受到Z+方向的冲击产生的应力为83.045MPa;当"V"字梁厚度为60μm时,其受到Z-方向的冲击产生的应力为149.032MPa;当"V"字梁厚度为80μm时,其受到Z-方向的冲击为94.721MPa。由于石英材料的断裂强度为95MPa,所以"V"字梁的厚度最小值约为80μm。

• 单位
  西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室