针对细胞实验中难以对细胞活性进行有效、实时、快速检测的难点，利用微机电系统（MEMS）微纳工艺，设计并制造了一种电极宽度、间距均为微米级的叉指电极芯片，并将其封装成可用于检测细胞活性的传感器。基于细胞阻抗原理，进行了细胞活性检测实验，来验证传感器的功能。实验结果表明：细胞活性与传感器检测到的细胞阻抗值呈正比，细胞活性越高，阻抗值越大。与传统检测细胞活性的方法相比，该传感器具有实时检测细胞生长和快速死亡过程的功能，且具有操作简单、无标签、非入侵等优点。
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