Mo-N基薄膜的研究进展

作者:刘晨凯; 鞠洪博; 赵子彤; 许俊华; 喻丽花
来源:装备机械, 2020, (02): 7-11.

摘要

Mo-N基薄膜具有较高的硬度和较强的稳定性,在刀具行业中有广泛应用。从Mo2N薄膜、纳米多层膜、纳米复合膜等角度介绍了Mo-N基薄膜的研究进展。