SrTiO_3薄膜生长初期Sr,Ti,O原子分子反应机理的理论研究

作者：王佩怡; 杨春; 李来才; 李言荣

来源：Acta Physica Sinica, 2008, (04): 2340-2346.

• SrTiO3薄膜
• 反应机理
• 活化能 SrTiO_3 thin films
• reaction mechanism
• activation energy

在激光分子束外延(LMBE)生长SrTiO3(STO)薄膜过程中,激光闪蒸出的Sr,Ti,O原子的微观反应过程及粒子形态是STO薄膜生长初期形成的关键.采用密度泛函理论中的广义梯度近似(DFT/GGA)方法,在PW91/DNP水平上研究了Sr,Ti,O原子在真空中的优先反应过程和形态,计算研究了SrO,TiO2和STO分子形成的反应机理,获得了相应的中间体和过渡态及反应活化能,并运用前线轨道理论分析了STO分子的形成机理.对比计算了STO分子可能的几何构型,得到了比较稳定的构型,其几何特征与STO单胞部分相似.计算研究表明,SrO,TiO2,STO分子是LMBE外延生长STO薄膜初期的主要粒子...

• 单位
  电子科技大学; 电子薄膜与集成器件国家重点实验室; 四川师范大学