基于MEDICI软件的高维持电流SCR器件的仿真优化

作者:刘继芝; 彭钰航; 刘志伟*
来源:实验技术与管理, 2023, 40(12): 99-106.
DOI:10.16791/j.cnki.sjg.2023.12.014

摘要

为了设计满足不同静电放电(ESD)设计窗口需求的可控硅整流器(SCR)器件,提出一种提高ESD用SCR器件维持电流的方法。该方法基于器件仿真软件MEDICI,通过仿真分析SCR器件在ESD工作条件下的内部电流流向、载流子分布和电导调制过程,从器件尺寸、掺杂浓度和电流路径三个方面对SCR器件的维持电流进行了仿真优化。仿真结果表明,优化后的SCR器件的维持电流增大了10倍。该仿真优化方法可以提高学生的器件仿真能力,同时使他们对微电子器件的优化设计过程有更加直观和全面的认识。

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