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摘要
实现平面转子的稳定悬浮是磁悬浮陀螺的关键所在。介绍了一种利用微细加工方法实现的磁悬浮陀螺仪模型的悬浮系统。在该悬浮系统中,利用电感检测的方法获取转子的位置信号,并对该信号进行PID处理,再将其用于控制悬浮线圈中的电流大小对悬浮力进行控制,最终实现了平面转子的稳定悬浮。文中进行了系统建模,对系统悬浮力进行分析,同时利用Mat lab/simulink对其仿真,得出了转子位置的动态响应,并通过改变仿真参数,对系统结构、悬浮高度等参数进行优化。
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单位电子薄膜与集成器件国家重点实验室; 电子科技大学
