摘要

键合失效是常见的塑料封装器件失效类型,银丝键合在市场上的应用越来越普遍。介绍了电学失效定位、 CT、化学/机械开封和FIB/SEM等银丝键合失效常用的失效分析方法,阐述了3个在实际应用时出现银丝键合失效的案例,分析总结出3种银丝键合失效机理,包括:键合弹坑、键合丝间距过小、内键合点银迁移,为提高银丝键合可靠性提供了依据。通过失效案例的分析研究,讨论了针对不同失效机理的分析思路及合适的制样方法,并且描述了键合弹坑引发的次生烧毁形貌特征,为失效分析相关从业人员提供了一些分析经验,具有一定的参考价值。