MEMS平面微运动测量的若干关键技术研究

作者：费杰

来源：知识文库, 2018, (08): 214.

<正>微机电系统(MEMS)是指微信机械、微信处理器、控制电路以及电源等微信器械的系统,具有体积小、可量产以及高集成的特点,近些年来在各行各业中都有广泛应用。在MEMS应用过程中,其测试技术也越来越受到研究者的关注,其中动态性能测试技术在MEMS研究与批量生产中具有重要意义。MEMS是基于微电子技术的基础上创立的一门新兴学科,主要涉及了微电子学、机械学、力学等多个学科。MEMS具有信息获取、处理与执行的功能,能够完成大型机电系统

• 单位
  南通师范高等专科学校