碲锌镉晶片表面精密抛光系统研究

作者：赵祥; 张文斌; 张世民; 高岳

来源：电子工业专用设备, 2022, 51(01): 8-11.

• 碲锌镉
• 表面抛光
• 承载器

介绍了表面抛光的工艺过程和技术原理，对影响抛光质量的关键部件抛光盘主轴和承载器进行分析研究。通过抛光压力精密控制，抛光结果满足晶片表面平坦化要求。

• 单位
  中国电子科技集团公司第四十五研究所