一种微小漏率正压漏孔校准的气体取样系统及方法

来源：低温与特气, 2019, 37(02): 13.

<正>申请(专利)号:201811431861. X公开(公告)日:2019-03-08申请(专利权)人:北京东方计量测试研究所摘要:本发明一种微小漏率正压漏孔校准的气体取样系统及方法,包括分子泵抽气系统、氦气瓶、氮气瓶、气体采样阀门、气体取样室、气体膨胀室、气体累积室、第一第二真空计、第一至第七真空阀门及恒温箱;分子泵抽气系统通过第一真空阀门、且氦气瓶的出气口与第二真空阀门的一端连