高精度电容测微仪关键技术

作者：李建文; 刘书亮; 付敬业; 周涛; **忠

来源：天津大学学报 (自然科学与工程技术版), 2004, (09): 787-791.

• 电容测微仪
• 非接触测量
• 误差修正 capacitance micrometer
• non-contact measurement
• error compensation

针对非接触式电容测微技术的应用问题,介绍了非接触式高精度电容测微仪的基本工作原理及关键技术,给出了仪器的主要结构,对仪器电路进行了模块化设计,研究分析了实际测量过程中不可避免的各种误差,并提出了相应的消除或修正方法.研究结果表明,探头的有效直径为1mm时,仪器的分辨率可达1nm,测量范围为±5μm.探头的有效直径为9mm时,分辨率可降到0.1μm,测量范围可扩大到±1mm,动态频响0～4kHz.

• 单位
  内燃机燃烧学国家重点实验室; 天津大学; 电子工程学院; 中国人民解放军军事交通学院