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摘要
本文研究了表面光栅结构对垂直腔面发射激光器（VCSEL）的偏振控制作用。引入表面光栅后，对不同刻蚀深度下的偏振相关的镜面损耗进行了仿真，结果表明表面光栅刻蚀深度在44 nm到130 nm范围内均可实现稳定偏振，具有较大的工艺容差。表面光栅VCSEL在基横模工作状态下偏振抑制比（Orthogonal Polarization Suppression Ratio， OPSR）超过20 dB，偏振光谱峰间偏振抑制比达到40 dB，且在多横模状态也实现了有效的偏振控制。为了进一步验证光栅对偏振控制的效果，我们制作了方向互相垂直的两种表面光栅，具有这两种方向光栅的VCSEL的OPSR均达20 dB以上。测试分析表明表面光栅是VCSEL实现稳定偏振的一种有效手段。
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