纳米尺度压电薄膜PZT的结构特征和性能

作者：李敏; 惠春; 徐爱兰; 汪静; 孙建平

来源：压电与声光, 2010, (01): 68-70.

• PZT薄膜
• 传统热处理
• 快速热处理

采用改进的溶胶-凝胶(Sol-Gel)方法在Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备锆钛酸铅(PZT)纳米晶薄膜,研究了不同的热处理方式对PZT薄膜的晶粒结构、尺寸及电学性能的影响。X-射线衍射(XRD)分析表明:传统的热处理方式更有利于得到具有一定择优取向性的PZT薄膜。原子力显微镜(AFM)显示:快速热处理方式使PZT薄膜的晶粒具有自形晶结构,晶粒的排布更为有序,从而改善了薄膜的致密性。阻抗分析仪的测试结果表明:经快速热处理的薄膜,漏电流大约比传统热处理处理的薄膜的漏电流降低了20倍左右。

• 单位
  薄膜与微细技术教育部重点实验室; 上海交通大学